Abstract
Bei der Röntgenemissionsanalyse mit Ionen besitzt die Topographie der Probe einen entscheidenden Einfluβ auf die Röntgenausbeute. Es wird ein Modell beschrieben, das es gestattet, den Topographieeinfluβ mathematisch zu erfassen. Mit diesem Modell werden die Fehler abgeschätzt, die bei der quantitativen Analyse rauher Proben zusälzlich auftreten können. Daraus werden Forderungen an die Oberflächengüte der Proben abgeleitet.

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