Bestimmung der optischen Konstanten von Halbleitern an Proben mit nichtidealen Oberflächen

Abstract

Am Beispiel GaAs wird gezeigt, daß es möglich ist, die bei Durchlässigkeits-und Reflexions-messungen an planparallelen Proben durch Oberflächenstreuung auftretenden Intensitätsverluste näherungsweise aus den Meßwerten selbst zu bestimmen und bei der Berechnung der optischen Konstanten zu berücksichtigen.