The Dynamic Behaviour of Capacitive Humidity Sensors
Open Access
- 17 March 2020
- journal article
- research article
- Published by Belarusian National Technical University in Devices and Methods of Measurements
- Vol. 11 (1), 53-59-59
- https://doi.org/10.21122/2220-9506-2020-11-1-53-59
Abstract
Рассмотрены конструктивные параметры и свойства чувствительных материалов, влияющие на время отклика ёмкостных датчиков влажности на основе полимеров. Выполнен краткий обзор и анализ способов определения динамических характеристик ёмкостных датчиков влажности в технической документации ведущих производителей, представленных на рынке. Приведено описание схемы и работы экспериментальной установки для определения динамических характеристик ёмкостных датчиков влажности при различных значениях температуры влажного воздуха. Динамические характеристики ёмкостных датчиков влажности на основе полимеров определялись в виде отклика выходного сигнала при ступенчатом изменении влажности как с положительным, так и с отрицательным шагом. Времена отклика и восстановления, а также постоянные времени для экспоненциальной аппроксимации отклика на ступенчатое воздействие, определялись на основе результатов измерений графически либо аналитически. Проанализированы изменения указанных параметров в пределах температур от – 30 °С до + 20 °С при атмосферном давлении. Приведены примеры полученных переходных характеристик, проиллюстрирован графический метод определения времён отклика и восстановления. Представлены графики зависимости времён отклика и восстановления, а также постоянных времени, от температуры. Предложены возможные объяснения полученных результатов.Keywords
This publication has 8 references indexed in Scilit:
- Humidity Measurement in Carbon Dioxide with Capacitive Humidity Sensors at Low Temperature and PressureSensors, 2018
- Coulometric trace humidity measurement in technical gasesReview of Scientific Instruments, 2018
- Polyimide-Based Capacitive Humidity SensorSensors, 2018
- On-site calibration system for trace humidity sensorsMeasurement, 2016
- Numerical Study of the Structural Parameter Effects on the Dynamic Characteristics of a Polyimide Film Micro-Capacitive Humidity SensorIEEE Sensors Journal, 2016
- An inverse-modelling approach for frequency response correction of capacitive humidity sensors in ABL research with small remotely piloted aircraft (RPA)Atmospheric Chemistry and Physics, 2014
- Humidity measurement with capacitive humidity sensors between −70°C and 25°C in low vacuumJournal of Sensors and Sensor Systems, 2014
- Humidity Sensors: A ReviewSensor Letters, 2005